HITACHI掃描電鏡特點：
 

　　*高分辨成像
 

　　日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
 

　　高襯度的低加速電壓背散射圖像
 

　　3D NAND截面觀察;
 

　　在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
 

　　快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
 

　　由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像。
 

　　自動化功能*
 

　　EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認后，該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
 

　　靈活的用戶界面
 

　　原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。